リモートプラズマ・イオンビームスパッタリング装置　

PRヘリコンプラズマソースをイオン源として、ターゲット、基盤へのバイアス印…

ヘリコンプラズマソースをイオン源として、ターゲット、基盤へのバイアス印加により高品質かつフレキシブルな成膜をする装置です。 イオン源、ターゲット、基盤それぞれに対して独立した電流制御を行います。 複数のターゲットを搭載し、切り替えての多層成膜も簡単に行えます。同時にターゲット付近、基盤付近に独立したガス供給も行えるため、酸化膜・窒化膜をはじめとした様々な多層光学薄膜も成膜可能。新たな素材探索や成膜...

メーカー・取り扱い企業： ティー・ケイ・エス株式会社

V1800

非磁性材質に吸着して移動可能なバキューム型検査ロボット

バキューム型検査ロボットV1800はガラス、プラスチック、複合材料、ステンレス鋼、アルミニウムなど、非磁性材質の表面を移動できる画期的な検査ロボットです。上下移動の際も堅牢な独自のプラットフォームの吸着接着技術により、非磁性面はもちろん磁性面の両方をスムーズかつ安全に這い続けることができます。また、カス...

メーカー・取り扱い企業： Advantec-IS株式会社

目視出来ない配管内を自由に走行可能！自走式検査ロボット

『M2クローラー』は磁石の吸着力で多様な構造物を走行！配管内の水分除去…

『M2クローラー』は、関電プラントが開発した自走式目視検査ロボットです。 前方視カメラは上下首振り操作により詳細観察が可能で、後方視カメラも搭載。 配管の内外面や平板走行も可能で対象物が“磁性体”であれば多様な構造物に 適用できます。 また、クローラの走行時にメッセンジャーワイヤーを通線することにより、 配管内の水分除去・簡易清掃・ピンホール検査などの応用も可能です。 【...

メーカー・取り扱い企業： 関電プラント株式会社