リモートプラズマ・イオンビームスパッタリング装置　

PRヘリコンプラズマソースをイオン源として、ターゲット、基盤へのバイアス印…

ヘリコンプラズマソースをイオン源として、ターゲット、基盤へのバイアス印加により高品質かつフレキシブルな成膜をする装置です。 イオン源、ターゲット、基盤それぞれに対して独立した電流制御を行います。 複数のターゲットを搭載し、切り替えての多層成膜も簡単に行えます。同時にターゲット付近、基盤付近に独立したガス供給も行えるため、酸化膜・窒化膜をはじめとした様々な多層光学薄膜も成膜可能。新たな素材探索や成膜...

メーカー・取り扱い企業： ティー・ケイ・エス株式会社

【導入事例】ワーク裁断機のバラツキを解消

ワーク裁断機の繰り返し精度が思うように出ない！リニアエンコーダーシステ…

円/1日 ■カイゼンのポイントと期待できるお客様効果 ・0.1mm毎の加減算表示、繰り返し精度が出る ・磁気式のエンコーダーなので、環境条件の悪い箇所でも影響がない ・スケールとヘッドは、非磁性のアルミやステンレス素材で囲うことができる 　（作業者による安易な調整を防ぐため） ■カイゼンの効果とメリット ・検査時間：0回/28,800秒 ・検査停止時間：0秒/1回 ・検査ライン停...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社マコメ研究所 (MACOME) 本社

【導入事例】ライン段替え時のロスを解消

多品種を流すラインでの段替えで様々なロスが発生！約13稼働日で金額損失…

お客様効果 ・0.1～0.025mmの分解能があり、繰り返し精度が出るためワンタッチで段替えが 　可能 ・磁気式エンコーダーなので、環境、雰囲気の悪い箇所で影響がない ・磁気式スケールは、非磁性材料（アルミ、ステンレス）で囲っても 　動作に影響が無い（現場作業者の安易な調整防止など） ■カイゼンの効果とメリット ・段替え頻度：5回/28,800秒 ・段替え停止時間：28秒/1回 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社マコメ研究所 (MACOME) 本社