リモートプラズマ・イオンビームスパッタリング装置　

PRヘリコンプラズマソースをイオン源として、ターゲット、基盤へのバイアス印…

ヘリコンプラズマソースをイオン源として、ターゲット、基盤へのバイアス印加により高品質かつフレキシブルな成膜をする装置です。 イオン源、ターゲット、基盤それぞれに対して独立した電流制御を行います。 複数のターゲットを搭載し、切り替えての多層成膜も簡単に行えます。同時にターゲット付近、基盤付近に独立したガス供給も行えるため、酸化膜・窒化膜をはじめとした様々な多層光学薄膜も成膜可能。新たな素材探索や成膜...

メーカー・取り扱い企業： ティー・ケイ・エス株式会社

株式会社フェローテックホールディングス　会社案内

【動画公開中！】フェローテックの製品は見えないところでビジネスやインフ…

【グループ会社製品項目】 ■装置関連事業 　・真空シール　　・石英製品　 ・セラミックス製品 　・シリコン製品　・SiC製品　　・ウエーハ製品 ■電子デバイス事業 　・サーモモジュール　・磁性流体　・パワー半導体用基板 ■太陽電池関連事業 　・シリコン結晶製造装置　・石英るつぼ　・太陽電池用シリコン ※その他 業務用洗濯機などの産業機器関連 ※詳しくはPDF資料をご覧いただく...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社フェローテックホールディングス

株式会社フェローテック　事業紹介

気づき、改善し、そして幸せを追求する企業。フェローテック。

【取扱製品】 ○磁性流体シール ○真空シール ○磁性流体 ○ロボットシール ○三次元ダンパ ○サーモモジュール ○太陽電池関連製品 ○石英製品 ○セラミックス ○CVDSiC製品　など ●詳しく...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社フェローテックホールディングス

株式会社フェローテック　製品紹介カタログ

真空シール・石英など、主力5製品の分野別アプリケーション・マトリックス…

　・装置関連（半導体、FPD、LED等） ○セラミックス 　・装置関連（半導体、FPD、LED等） ○サーモモジュール 　・電子デバイス（自動車、半導体、家電民生、医療、光通信等） ○磁性流体 　・電子デバイス（自動車、家電民生、医療等） ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社フェローテックホールディングス