リモートプラズマ・イオンビームスパッタリング装置　

PRヘリコンプラズマソースをイオン源として、ターゲット、基盤へのバイアス印…

ヘリコンプラズマソースをイオン源として、ターゲット、基盤へのバイアス印加により高品質かつフレキシブルな成膜をする装置です。 イオン源、ターゲット、基盤それぞれに対して独立した電流制御を行います。 複数のターゲットを搭載し、切り替えての多層成膜も簡単に行えます。同時にターゲット付近、基盤付近に独立したガス供給も行えるため、酸化膜・窒化膜をはじめとした様々な多層光学薄膜も成膜可能。新たな素材探索や成膜...

メーカー・取り扱い企業： ティー・ケイ・エス株式会社

IHドラム缶ヒーター「IHD型」

電磁誘導加熱のため機器本体は発熱せず、従来品より効率良く安全で夜間無人…

サーモセーフ（THERMOSAFE）は210リットル以下の磁性のある材質のドラム缶を加熱するＩＨ式電気ヒーターです。 電磁誘導コイルをガラス強化プラスチックのケースで覆った構造で、電源を接続するとドラム缶外壁を均一に加熱できます。 また、オプションのIHベ...

メーカー・取り扱い企業： 日本ヒーター株式会社